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特點(diǎn)

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  設(shè)備參數(shù)
  - 大理石平臺(tái)尺寸：9000mm X 3000mm X 500mm
  - 振動(dòng)抑制性??能：3Hz時(shí)95％的振動(dòng)抑制
  - 移動(dòng)桿角度精度：4” 以?xún)?nèi)
  - 通過(guò)使用激光進(jìn)行移動(dòng)柱位置控制來(lái)提高位置精度
  - 主鏡平面圖：λ/ 4或更?。ǚ宓椒澹?
  - 主鏡角度精度：2”以?xún)?nèi)
  - Pitch , Yaw , Roll  2” 以?xún)?nèi) 
  				

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  硬件
  - 使用4個(gè)經(jīng)緯儀對(duì)測(cè)量對(duì)象進(jìn)行垂直，水平角度和排序的測(cè)量
  - 使用夾具將測(cè)量對(duì)象固定在大理石平臺(tái)上
  - 在大理石平臺(tái)底部安裝振動(dòng)抑制系統(tǒng)，以最大程度地減少環(huán)境的影響
  - 利用設(shè)置在相反兩個(gè)角落的主鏡進(jìn)行經(jīng)緯儀校準(zhǔn)