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ELA : Excimer Laser Annealing，即準(zhǔn)分子激光退火。是高端面板制造不可或缺的關(guān)鍵設(shè)備?？梢詫@示屏玻璃基板的非晶硅材料（a-Si）轉(zhuǎn)化為低溫多晶硅材料（LTPS）。從而大大提高電子的遷移率。

本次交付的設(shè)備，為湖北地區(qū)第三臺(tái)ELA設(shè)備，該設(shè)備將主要應(yīng)用于顯示面板的研發(fā)。德仁的工程師也將常駐湖北，助力該企業(yè)的技術(shù)研發(fā)。

ELA主體 chamber搬入

激光器搬入

開(kāi)通特氣